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장비 예약 안내
- 예약은 승인제로 운영되고 있으며, 당일 예약 또는 긴급히 예약해야할 경우 담당자에게 연락바랍니다.
- 담당자: 예병현 02-3290-4990, kimgc@korea.ac.kr (평일 09:00~18:00)
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고려대 차세대AI반도체특성화대학사업단
구축 장비 목록
| No. | 장비명 | 비고 | |
|---|---|---|---|
| 1 | Mask aligner 1 | Clean room1 | |
| 2 | Mask aligner 2 | ||
| 3 | E-beam evaporator 1 | ||
| 4 | E-beam evaporator 2 | ||
| 5 | PE-ALD | ||
| 4 | Wet bench | ||
| 5 | Optical microscopy | ||
| 6 | Thermal CVD | ||
| 7 | PE-CVD | ||
| 8 | ICP-RIE | ||
| 9 | RTA | ||
| 정릉캠퍼스 진리관 1 층 | |||
| 10 | Probe station | Clean room2 | |
| 11 | Semiconductor Analyzer | ||
| 12 | Pulse generator | ||
| 13 | Hall measurement system | ||
| 14 | Plasma cleaner | ||
| 정릉캠퍼스 진리관 1층 | |||
| 15 | XRD | 첨단 분석 연구실 | |
| 16 | FE-SEM | ||
| 17 | TRPL | ||
| 정릉캠퍼스 진리관 3 층 | |||
Total 15건
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